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无源器件电阻及其版图

2015-4-14 13:34| 发布者: 闪电| 查看: 162| 评论: 0

摘要: 1.电阻概述 1)自然界有两种类型材料——导体和绝缘体。导体具有允许电流通过它流动的能力,绝缘体则不允许通过它流动。2)导体有良导体和不良导体区分。材料传导电流的强弱用材料电阻值来描述。 3)元素周期表中一 ...


  对电阻值的影响因素很多,包括工艺变化、温度、非线性及接触电阻。其他次要因素主要影响电阻匹配,包括方向、压力和温度梯度、热电子效应、刻蚀速率的不一致性、电压调制等。

    1.工艺变化

    1)电阻的阻值取决于其方块电阻与尺寸。

    2)方块电阻随薄膜厚度、掺杂浓度、参杂分布和退火条件的波动而变化。

    3)电阻的尺寸会由于光刻误差和刻蚀速率不一致二变化。

    4)现代工艺的方块电阻误差维持在20%至25%以内。

    5)线宽控制是指对由光刻和工艺带来的尺寸变化的度量。线宽控制用特征尺寸的百分比来衡量,它随着特征尺寸的提高而改善。


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